我院微系统工程系成立于2008年，目前已经成为国内微机电系统及纳米技术方向博士、硕士及本科生培养的重要基地，具有较强的研究开发与人才培养实力。微系统工程系现有教职工28人，其中国家级人才6人，国家级青年人才4人。教授13人、副教授12人。

微系统工程系建立的“微机电系统及纳米技术”国防重点学科是我校“机械工程”双一流学科的重要支撑方向及“机械电子工程”国家重点学科的骨干方向，是西工大“十五”、“十一五”重点建设学科，国家“985工程”重点建设项目，入选教育部“985工程”建设十年典型案例。该学科还作为重点方向支撑我校申报并获批国家首批“集成电路科学与工程”一级学科。微系统工程系拥有“机械工程”一级学科博士点和“集成电路科学与工程”一级学科博士点。

微系统工程系已建成“空天微纳系统教育部重点实验室”、“陕西省微/纳米系统重点实验室”和“西北工业大学微/纳米系统研究中心”，并于2019年获陕西省“极端环境智能微系统国家重点实验室”培育支持。

微系统工程系已完成“985工程”一期、二期、三期和“211工程”建设，设备资产达1.2亿元，实验室面积4000平米（其中超净间面积900平米），形成了一条四/六英寸MEMS研发线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀、聚合物基微加工等多种典型工艺，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。已经为国内几十家单位提供了微纳加工及相关器件研发支持。同时，微系统工程系在西工大宁波研究院成立了“智能传感芯片技术研究中心”，建立了一条八英寸MEMS中试线，为实现科研项目产业化开辟了新的道路。

微系统工程系在航空航天等极端环境智能微纳系统方面进行了大量的基础和工程应用研究，在典型航空航天特种微纳传感器与系统、流动测控灵巧蒙皮技术、航空航天特种MEMS制造技术、MEMS集成设计方法及工具等方面处于国内领先水平。获得国家技术发明二等奖3项，国家教学成果一等奖1项，省部级一等奖5项，二等奖19项。获得国家重大科学仪器设备开发专项、民机专项、国防基础科研重点项目、国家自然科学基金重点项目、国家863项目、国防973课题以及国家自然科学基金面上项目等重点项目190余项，项目经费累积超过2亿元。出版学术专著及教材11部，其中《微机电系统(MEMS)制造技术》获国家科学技术学术著作出版基金资助。微系统工程系共申请国家发明专利280余项，授权170余项，在国内外重要学术刊物上发表论文800余篇。

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相关数据截止于2022年10月