我院“微机电系统工程”专业2011年获教育部批准，2012年开始招生，2017年获批陕西省一流本科专业，2019年获批国家级一流本科专业建设点，2022年获评软科A+专业。本专业目前已成为我国微机电系统及纳米技术方向博士、硕士重要生源基地，培养的学生获得了国内外众多高校及就业单位认可。

微机电系统工程专业现有专任教师28人，其中教育部特聘教授2人、国家“万人计划”科技创新领军人才2人、国家级人才1人、国家优青1人、海外引进国家级青年人才3人。教授13人、副教授12人。形成了一支教育理念先进、教学水平精湛、师资实力雄厚、科研实力突出的科研育人团队。

微机电系统工程专业现有“空天微纳系统教育部重点实验室”、“陕西省微/纳米系统重点实验室”和“西北工业大学微/纳米系统研究中心”，并于2019年获陕西省“极端环境智能微系统国家重点实验室”培育。本专业实验室完成“985工程”一期、二期、三期和“211工程”建设，设备资产达1.2亿元，实验室面积4000平米（其中超净间面积900平米），形成了一条四/六英寸MEMS研发线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀、聚合物基微加工等多种典型工艺，可面向本科生开放。同时，实验室在西工大宁波研究院成立了“智能传感芯片技术研究中心”，建立了一条八英寸MEMS中试线，面积2400平米（其中超净间面积800平米），为实现科研项目产业化开辟了新的道路。

微机电系统工程专业在本科生人才培养方面遵循“以本为本”的育人理念，提出了“设计一颗芯片、制造一颗芯片、应用一颗芯片”的课程体系。让本科生能够进入超净间，亲身参与MEMS传感器芯片的设计、加工、测试及应用，并获得一颗属于自己的MEMS芯片，真正实现“做中学”的培养模式。专业提出的“创建微纳新兴交叉学科平台，培育拔尖创新人才”成果获2014年国家级教学成果一等奖。

微机电系统工程专业是我校“机械工程”双一流学科的重要支撑方向及“机械电子工程”国家重点学科的骨干专业。本专业作为我校MEMS方向“本-硕-博”一体化培养体系的核心，毕业生可在“微机电系统及纳米技术”、“集成电路科学与工程”、“仪器仪表工程”、“机械工程”等专业深造。

微机电系统工程专业与美国加州理工学院、德国弗莱堡大学、法国斯特拉斯堡大学、英国南安普顿大学等建立了良好学术合作关系，毕业生可在众多国际知名高校继续深造。同时，本专业毕业生也得到清华大学、北京大学等国内顶尖高校的高度认可。

学制/学位：本科四年制/工学学士