微机电系统及纳米技术是我校“机械工程”双一流学科下设的国防特色学科，2002年设立博士点，是西工大重点建设学科，国家“985工程”重点建设学科，入选教育部“985工程”建设十年典型案例。学科现有教职工28人，其中教育部特聘教授2人、国家“万人计划”科技创新领军人才2人、国防领域国家级人才1人、国家优青1人、海外引进国家级青年人才3人。教授13人、副教授12人。

微机电系统及纳米技术学科主要依托陕西省微/纳米系统重点实验室和空天微纳系统教育部重点实验室，面向航空、航天、航海，围绕智能微系统相关前沿技术开展从核心器件到智能微系统的应用基础研究，拥有学科拥有一条四/六英寸MEMS研发线及一条八英寸MEMS中试线，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。近年来，获得国家技术发明二等奖3项，国家教学成果一等奖1项，省部级一等奖5项，二等奖19项。获得国家重大科学仪器设备开发专项、民机专项、国防基础科研重点项目、国家自然科学基金重点项目、国家863项目、国防973课题以及国家自然科学基金面上项目等重点项目190余项，项目经费累积超过2亿元。

微机电系统及纳米技术学科围绕航空航天等极端环境智能微纳系统开展研究，在航空航天特种微纳传感器其与系统、流动测控灵巧蒙皮技术、航空航天特种MEMS制造技术、MEMS集成设计方法及工具等方面处于国内领先水平。学科未来目标定位是面向深空、深海、深地探测等极端环境，围绕智能微系统相关前沿技术开展从新原理、新技术、新材料、核心器件到智能微系统的完整研究体系的应用基础研究，解决我国高端核心微器件及系统受制于人的卡脖子问题。

主要研究方向和研究内容包括：

1. 智能微系统基础理论研究

围绕微纳传感理论关键科学问题，开展新原理、新材料、新方法、新效应、新结构等原创性、前瞻性基础研究。针对超高低温、微重力、强辐射、高真空、高压强等极端特种环境，深入研究微传感器与微执行器优化设计、失效机理、可靠性分析等基础理论。

2. 微纳集成制造技术研究

针对军民两用背景，开展不同材料体系的微纳加工基础研究。研究硅基和高温碳化硅基MEMS制造新工艺，解决共性基础难题，研发标准工艺。面向具有高精度、高集成度、强辐射、高温、高隔离度和高气密性要求的高端微纳器件和微系统，研究圆片级高真空封装技术、多芯片集成封装技术、微系统封装加固技术等关键基础问题。

3. 微系统智能控制理论与策略

以信息存储、自诊断、自校正、自决策等智能化特征为研究方向，深入研究目标特征分析与智能辨识、多传感器数据融合、大数据分析与挖掘、信息误差控制、网络建模与分析、行为决策计算、演化博弈理论和实验、智能传感控制策略、信息安全策略等基础理论，为智能微系统研究提供从信息获取、处理到智能控制等全方面的理论指导。

4. 极端环境测试与应用技术研究

研究典型极端环境行为特征和规律、微系统损伤和失效机理、可靠性分析与性能评估等基础理论，为极端环境下微系统设计制作提供理论支撑。面向深空、深海、深地探测国家重大工程需求，针对高温、高压、高速、辐射、失重等极端环境应用需求，探索极端条件下微系统基础理论和失效机理，突破极端环境智能微系统优化设计与集成测试等关键技术。