我院仪器仪表工程是微机电系统及纳米技术的工程类方向，本学科现有教职工28人，其中教育部特聘教授2人、国家“万人计划”科技创新领军人才2人、国防领域国家级人才1人、国家优青1人、海外引进国家级青年人才3人。教授13人、副教授12人。

我院仪器仪表工程依托陕西省微/纳米系统重点实验室和空天微纳系统教育部重点实验室，面向航空、航天、航海，围绕智能微系统相关前沿技术开展从核心器件到智能微系统的应用基础研究，拥有学科拥有一条四/六英寸MEMS研发线及一条八英寸MEMS中试线，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。近年来，获得国家技术发明二等奖3项，国家教学成果一等奖1项，省部级一等奖5项，二等奖19项。获得国家重大科学仪器设备开发专项、民机专项、国防基础科研重点项目、国家自然科学基金重点项目、国家863项目、国防973课题以及国家自然科学基金面上项目等重点项目190余项，项目经费累积超过2亿元。

我院仪器仪表工程围绕航空航天等极端环境智能微纳系统开展研究，在航空航天特种微纳传感器其与系统、流动测控灵巧蒙皮技术、航空航天特种MEMS制造技术、MEMS集成设计方法及工具等方面处于国内领先水平。学科未来目标定位是面向深空、深海、深地探测等极端环境，围绕智能微系统相关前沿技术开展从新原理、新技术、新材料、核心器件到智能微系统的完整研究体系的应用基础研究，解决我国高端核心微器件及系统受制于人的卡脖子问题。

主要研究方向和研究内容包括：

1. 智能微传感器基础理论

围绕智能微传感器技术，开展新原理、新材料、新方法、新效应、新结构等原创性、前瞻性基础研究。针对超高低温、微重力、强辐射、高真空、高压强等极端特种环境，深入研究智能微传感器敏感机理、失效机理、可靠性分析等基础理论。

2. 智能微传感器设计及制造技术

围绕智能微传感器技术，开展传感器敏感结构及微纳加工基础研究。面向具有高精度、高集成度、强辐射、高温、高隔离度和高气密性要求的高端智能微传感器和微系统，研究其敏感结构设计优化方法、高可靠性制造技术等。

3. 智能微传感器系统集成及应用

面向航空航天、智能制造、消费电子、生物医疗等领域对智能微传感器及微系统的技术需求，开展传感器系统集成及应用技术研究。